研磨平板产品参数2012-06-11 字号：T|T
研磨平板产品参数
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产品名称
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产品规格 |
精度等级 |
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0级 |
1级 |
2级 |
3级 |
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平面度公差（um） |
|||||
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研磨平台 |
100*200 |
4.9 |
9.8 |
19.6 |
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|
200*200 |
5 |
10.3 |
20.5 |
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|
200*300 |
5.5 |
10.9 |
21.8 |
|
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|
300*400 |
6 |
12 |
24 |
|
|
|
400*400 |
6.5 |
12.5 |
25.1 |
|
|
|
400*500 |
6.5 |
13.1 |
26.2 |
65.6 |
|
|
500*500 |
7 |
13.8 |
27.5 |
68.8 |
|
|
500*600 |
7 |
14.2 |
28.5 |
71.2 |
|
|
500*800 |
8 |
15.5 |
31 |
78 |
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